氦气质谱泄漏检测器以氦为泄漏气体，用气体分析仪检测氦气。是国内外真空容器泄漏检测的先进技术。与一般泄漏检测技术相比，氦气质谱泄漏检测技术具有快速、准确、灵敏度高、无损伤等优点。氦气质谱泄漏检测器的示踪气体也可以是其他元素。但氦气通常被选择，因为氦气具有以下特点：
    1、氦气在空气中的含量很小，只占20万分之一左右，容易发现；
    2、氦气分子小，质量轻，易扩散，比其他气体更容易穿越漏洞；
    3、氦气离子荷质比小，易于质谱分析；
    4、氦气无毒无味，对大气无污染；
    5、氦气是惰性气体，化学性质稳定，不会腐蚀和损坏设备；
    6、氦气无毒，不凝结，很难容纳水；
    由于氦气具有上述特性，高纯氦气泄漏检测的应用已经从科研机构到工业企业甚至个体企业，可以说应用领域非常广泛。