高纯氦气充装需要严格遵守高纯气体充装工艺规程和安全操作规程。
    1、高纯充气操作人员工作时需要佩戴符合要求的防护用品。作业前应检查灌装设备、管路、阀门、仪器、仪表、工具是否齐全、完好、安全、灵敏、稳定。
    2、包各种气瓶的安全状态会发生变化，甚至是变化很大，因为它们所装的工作介质不同，所承受的环境压力也不同。为确保安全，必须严格按照规定的时间和内容，对在役的各类气瓶进行定期的技术检查和评定。每次加气前，需确认高纯氦气瓶已通过检验。
    3、加强设备维护水平，无法定位“可用”设备水平。由于压缩机质量和维护问题，该机组生产的压缩空气质量长期不达标。而一直满足于燃气压力达标，而忽略了燃气质量的合格性。油水分离器和干燥器长期未维护或更换，导致除水除油能力下降，加剧气瓶腐蚀，存在日后事故隐患。
    4、加强人员培训，组织技术骨干、有一定实践经验的老同志，总结经验教训，不断积累好的工作方法，落实设备操作规程和安全制度，避免因人员技能薄弱造成设备损坏或损失，造成在严重事故中。
    5、操作阀门时，操作者需侧立缓慢进行，一次开启或一次关闭，但不能太紧，以免产生过多的摩擦热或气流冲击静电，引起可燃气体或气瓶燃烧、爆炸。如果用力过大，可能会损坏阀体螺纹。
    6、从高纯氦气充气，观察压力变化。当压力升至充装压力的1/3时，操作人员应测试瓶温，并处理泄漏。如发现异常，应及时处理，使气瓶正常充气，直至充满。在检查过程中，如发现部分气瓶没有进气口（触摸气瓶壁未加热）或漏气，应及时处理。无进气时，检查气缸阀门是否打开；有漏气时应处理漏气，但当压力超过10MPa或不便处理时，应在钢瓶内充入高纯氦气后，关闭充气阀和钢瓶阀门，此外，还应注意监测瓶内是否有异响，检查瓶阀是否密封良好。